1.分辨率與脈沖當量 分辨力是指兩個相鄰的分散細節(jié)之間可以分辨的最小間隔。對觀測系統(tǒng)而言，分辨力是可以測量的最小增量：對控制系統(tǒng)而言，分辨力是可以控制的最小唯一位移量，最精密的數(shù)控系統(tǒng)的分辨力已達0.001um。數(shù)控裝置每發(fā)出一個脈沖信號，反應到機床移動部件上的移動量，稱為脈沖當量。脈沖當量是設計數(shù)控機床的原始數(shù)據(jù)之一，其數(shù)值大小決定數(shù)控機床的極愛工精度和表面質量。脈沖當量越小。數(shù)控機床加工精度越高，加工表面質量越好。簡易數(shù)控機床的脈沖當量為0.01mm，普通數(shù)控機床的脈沖當量為1um，精密度或超精精密數(shù)控才的脈沖當量為0.1um
2.定位精度與重復定位精度 定位精度是指數(shù)控機床工作臺等移動部件在確定的終點所達到的實際位置的精度，因此移動部件實際與理想位置之間的誤差成為定位誤差。定位誤差包括伺服系統(tǒng)，檢測系統(tǒng)，進給系統(tǒng)等誤差，好包括移動部件導軌的幾何誤差等，定位誤差將直接影響零件加工的位置精度。
重復定位精度是指在同一臺數(shù)控機床上，應用相同程序、相同代碼加工一批零件，所得到連續(xù)結果的一致程度，重復定位精度受伺服系統(tǒng)特性、進給系統(tǒng)的間隙與剛性以及摩擦特性等因素的影響，一般情況下，重復定位精度是成正太分布的偶然性誤差，它影響一批零件加工的一致，是一項非常重要的性能指標。
3.分度精度 分度精度是指分度工作臺在分度時，理論時要求回轉的角度值和實際回轉角度值的差值、生產(chǎn)效率以及刀具壽命的主要因素之一，同時還會對孔系加工的同軸度等造成一定的影響。
